Inhoudsopgave:
- Definitie - Wat betekent Micro-Electromechanical System (MEMS)?
- Techopedia verklaart Micro-Electromechanical System (MEMS)
Definitie - Wat betekent Micro-Electromechanical System (MEMS)?
Een micro-elektromechanisch systeem (MEMS) is een kleine mechanische module die wordt aangedreven door elektriciteit. NEMS voegt computers samen met mechanische modules zoals sensoren, actuatoren en spiegels. Het zijn kostenbesparende systemen die gebruikmaken van gemodificeerde apparaatfabricagetechnologie.
MEMS hebben een verscheidenheid aan toepassingen en komen in een breed scala van fabricageontwerpbenaderingen, waarbij gebruik wordt gemaakt van verschillende componenten, miniaturisatie en nieuwe standaard geïntegreerde elektromechanische systemen. MEMS kan worden gebruikt voor nat etsen zoals kaliumhydroxide (KOA), droog etsen zoals diep reactief ionenetsen (DRIE), gieten en platteren, elektro-ontladingsmachines (EDM) en andere technologieën die kleine apparaten produceren.
Een micro-elektromechanisch systeem kan ook worden aangeduid als een micro-elektronisch systeem, een micromachine, microsysteemtechnologie of slimme materie.
Techopedia verklaart Micro-Electromechanical System (MEMS)
MEMS kan kleiner zijn dan de breedte van een mensenhaar en kan verschillende componenten bevatten, zoals:
- microsensoren
- microactuators
- microprocessoren
- Centrale eenheden voor het verwerken van gegevens
- Componenten voor interactie met externe elementen
MEMS hebben een grote oppervlakte / volumeverhouding en zijn geconstrueerd met behulp van siliconen fabricagetechnologie.
Een MEMS-apparaat bevat microschakelingen die op een kleine siliciumchip worden geplaatst die wordt gebruikt met mechanische componenten. De technologie ondersteunt een grote verscheidenheid aan apparaten die mechanische processen regelen, detecteren of activeren terwijl ze als een array of individueel functioneren.
Momenteel omvatten MEMS een enkele afzonderlijke microsenor of microacuator in hun architectuur, maar in de toekomst kunnen complexere niveaus van assimilatie optreden. De volgende ontwikkeling kan zijn om veel afzonderlijke functies in één systeem op te nemen.
